審查作業分為初評及複評，其作業程序如下：

一、初評：由中央主管機關就申請者檢送之文件與資料進行審查是否符合 第三條及第四條之規定；通過初評之申請者，取得複評資格。

二、複評：

（一）取得專利：由評選小組就專利商品化之可行性，排定獎勵之優先順 序。

（二）技術研發：由評選小組就申請研發之技術，審查可應用於既有商品 之實用性或具有商品化的潛力，並就通過審查案件者，排定獎勵之 優先順序。

前項審查作業必要時得進行實地現勘，或要求申請者提出相關實驗數據、 半成品及其他足資證明之驗證文件。