光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準  ( 95 年 01 月 05 日)
第7條
排放管道之空氣污染物監測及檢測作業應符合下列規定:

一、揮發性有機物單位小時許可排放量達一.三公斤以上者,其揮發性有 機物污染防制設備之廢氣導入處及排放口應設置連續自動監測設施。 但同一公私場所排放之單一空氣污染物經二個以上排放管道排放時, 排放量較小或僅含模組 (module) 製程廢氣之排放管道,經地方主管 機關核可者,得免予設置。

二、非前款規定之揮發性有機物排放管道者,其揮發性有機物之非甲烷碳 氫化合物 (NMHC) 濃度及排放量每半年應檢測一次。檢測時需記錄當 時製程及污染防制設備之操作條件,每次檢測應達四小時,檢測報告 應含所測得濃度之測值、小時平均值及總平均值,處理效率及排放量 應採濃度總平均值計算之。但已自行設置連續自動監測設施且符合固 定污染源空氣污染物連續自動監測設施管理辦法規定者,不在此限。

三、無機酸排放管道之氫氟酸及鹽酸排放濃度及排放量每年應檢測一次, 檢測時需記錄當時製程及污染防制設備之操作條件;每次採樣應達三 十分鐘,採樣及測定應達三次以上。檢測報告應含所測得各次濃度之 測值及總平均值,處理效率及排放量應採濃度總平均值計算之。