半導體製造業空氣污染管制及排放標準  ( 91 年 10 月 16 日)
第3條
本標準適用於半導體製造業。但原物料年用量小於下表所列者,該項物質 不適用本標準之規定:

┌──────┬────────┐ │原物料 │年用量 │ ├──────┼────────┤ │揮發性有機物│一七○○公斤/年│ ├──────┼────────┤ │三氯乙烯  │六○公斤/年 │ ├──────┼────────┤ │硝酸  │一七○○公斤/年│ ├──────┼────────┤ │硫酸  │三○○公斤/年 │ ├──────┼────────┤ │鹽酸  │一七○○公斤/年│ ├──────┼────────┤ │磷酸  │一七○○公斤/年│ ├──────┼────────┤ │氫氟酸 │一二○○公斤/年│ └──────┴────────┘